1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
Status-Line: HTTP/1.1 200 OK
Server: nginx
Date: Tue, 11 Oct 2022 08:41:48 GMT
Content-Type: text/html; charset=UTF-8
Transfer-Encoding: chunked
Connection: keep-alive
Vary: Accept-Encoding
Expires: Thu, 19 Nov 1981 08:52:00 GMT
Pragma: no-cache
X-Frame-Options: SAMEORIGIN
Cache-Control: no-cache, must-revalidate, post-check=0, pre-check=0
X-Browser: 127.0.0.1
Etag: W/"bff14e0298bb35986705929992f98441"
X-Xss-Protection: 1
X-Content-Type-Options: nosniff
Content-Encoding: gzip
58.53.128.* 中国湖北潜江市电信网友 hlmg2535 于2021-07-18 04:30:34发表评论:
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49.7.20.* 中国北京电信网友 mailike1 于2019-03-17 20:10:10发表评论:
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103.72.146.* 中国香港UCloud网友 bscl3901 于2020-11-14 23:49:24发表评论:
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159.203.165.* 美国纽约DigitalOcean数据中心网友 xkpmc5863 于2021-05-10 08:05:38发表评论:
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23.81.27.* 美国亚利桑那州马里科帕县菲尼克斯市Nobis技术集团有限公司网友 fgcy888 于2020-01-24 06:25:03发表评论:
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114.119.154.* 新加坡华为云网友 shuowei 于2019-12-02 02:17:21发表评论:
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49.7.20.* 中国北京电信网友 siliciye 于2019-05-20 18:28:51发表评论:
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114.119.136.* 新加坡华为云网友 swcicl7912 于2019-01-26 22:57:52发表评论:
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114.119.142.* 新加坡华为云网友 dbfit 于2020-01-12 04:26:04发表评论:
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129.226.49.* 中国香港腾讯云网友 weiyu2021 于2020-06-10 03:42:25发表评论:
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49.7.20.* 中国北京电信网友 hgiaetc7271 于2020-03-23 20:16:58发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 shuijing 于2020-08-09 13:50:56发表评论:
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115.148.154.* 中国江西南昌市电信网友 njpcl7291 于2021-04-17 20:49:49发表评论:
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178.214.249.* 俄罗斯网友 haikong 于2020-01-17 22:26:40发表评论:
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5.180.48.* 乌克兰网友 qiliangloves 于2020-03-23 16:53:21发表评论:
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125.64.94.* 中国四川德阳市电信网友 jpmcl7544 于2021-05-22 15:26:19发表评论:
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183.17.234.* 中国广东深圳市电信网友 chinaaoya 于2018-12-25 16:41:26发表评论:
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18.237.155.* 美国俄勒冈州波特兰Amazon数据中心网友 accc2732 于2021-08-18 08:22:50发表评论:
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180.163.220.* 中国上海电信网友 njccl9111 于2020-05-07 07:29:12发表评论:
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180.188.34.* 中国福建移动网友 apbhimtcl2035 于2019-03-12 11:11:13发表评论:
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